分級

粒徑

包裝

電子雲母粉塵 ( ETDP )

< 75μm

2.0 kg

電子石英細粉塵 ( EQDF )

< 75μm

2.5 kg

電子石英粗粉塵 ( EQDC )

< 150μm

3.0 kg

電子石英沙 ( EQDS )

< 850μm

4.5 kg

程序

粉塵分級

粉體粒徑

粉塵濃度

備註

試驗 L

方法 La 1

電子雲母粉塵

< 75μm

600g/m²/hr

(存放於參考表面)

測試包括在室內中循環氣壓

方法 La 2

電子雲母粉塵

< 75μm

2kg/m³

( 室容積)

樣品中的空氣壓力可能會降低

試驗Lb

電子石英細粉塵

< 75μm

6g/m²/day

(存放於參考表面)

自由沈澱灰塵

試驗Lc

方法 Lc 1

電子石英細粉塵

電子石英粗粉塵

電子石英沙

< 75μm

< 150μm

< 850μm

1g/m³

3g/m³

10g/m³

吹飛灰塵和沙子循環室

方法 Lc 2

電子石英細粉塵

電子石英粗粉塵

電子石英沙

< 75μm

< 150μm

< 850μm

1g/m³

3g/m³

10g/m³

自由吹飛灰塵

試驗 La :

非磨蝕性細粉塵

方法 La1 :

循環氣壓

方法 La2 :

恆定氣壓

試驗 Lb :

自由沈澱粉塵

試驗 Lc :

吹飛灰塵和沙

方法 Lc1 :

循環室

方法 Lc2 :

自由吹飛粉塵

* 有關試驗方法（La，Lb，Lc）及其設備的詳細訊息，請參閱IEC 60068-2-68。

電子雲母粉塵粒徑 ( 製造標準 )

最大尺寸 : 75μm 過大 1 % 或更少

分佈

粒徑

不足尺寸 % ( 質量基礎 )

62µm

96±4%

40µm

91±6%

20µm

58±10%

電子石英細粉塵粒徑 ( 製造標準)

最大尺寸 : 75μm 過大 1 % or less

分佈

粒徑

不足尺寸 % ( 質量基礎 )

40µm

87±7%

20µm

64±6%

10µm

42±6%

5µm

25±5%

2µm

10±4%

電子石英粗粉塵粒徑 (製造標準)

最大尺寸 : 150μm 過大 1 % 或更少

分佈

粒徑

不足尺寸 % ( 質量基礎 )

105µm

79±9%

74µm

60±8%

40µm

36±8%

20µm

24±8%

10µm

15±7%

5µm

9±5%

2µm

3.5±2.5%

電子石英沙粒徑 (製造標準)

最大尺寸 : 850μm 過大 1 % or less

分佈

粒徑

不足尺寸 % ( 質量基礎 )

592µm

95.5±3.5%

419µm

77±13%

296µm

32±12%

209µm

12±6%

148µm

8±4%