特點
●配備DSP（數字信號處理器），透過原始信號計算實現穩定的測量
●可以將兩個不同大小的轉換器與一個轉換器連接
由於最多可將兩個檢測器連接到一個轉換器，因此在多個位置測量流量的設備中，它節省了空間，並且在性價比方面表現出色。您還可以連接不同尺寸的檢測器以及測量不同的流體流速。
●顯示採用VFD顯示
我們採用VFD（螢光顯像管）進行顯示，它具有出色的可見性。 [僅適用於HLF820]
●支援高溫化學品的流量測量
與近年來多樣化的化學和流體溫度相容。所有接液部件均使用NEW PFA，並具有出色的耐化學性。此外，使用內部開發的振盪器，探測器可以處理高達200°C的流體溫度。 （K型）
* 04型最高溫度可達180℃。
●使用可移動電纜。接線工作簡單
由於可以安裝和拆卸檢測器的佈線電纜，因此在安裝到設備上之後可以順利進行佈線。電纜的長度可以從5m和7m中選擇。
●透過RS-485通訊可以透過PC進行遠端監視
RS-485通信是標準設備。透過使用管理軟體（HLF800 Monitor），可以在PC上完成參數設置和測量數據讀取，從而可以進行遠端流量監控。
用途
•半導體工藝中純水和超純水的流量測量
•用於各種化學處理過程的流量控制，例如高腐蝕性化學塗層
•CMP（化學機械拋光）漿液流速測量
規格
轉換器
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型式
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HLF810
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HLF820
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測量方式
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超音波傳播時間差方式
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精度
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±1% R.D. (純水20℃)
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數據更新周期
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0.01秒
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電源
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電壓
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DC24V ±10%(21.6∼26.4V)
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消耗電流
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約4W
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約5W
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顯示
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-
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VFD（螢光管）16文字ｘ2行
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數位輸入
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集電極開路輸入或非電壓觸點輸入2點
從累計值重置和0點調整中選擇
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輸出
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4-20mA電流輸出
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2點
分解能：12bit(最大負載電阻 600Ω）
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數位輸出
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集電極開路輸出（MAX35V / 0.1A）2點
從比較中選擇，積分脈衝，瞬時頻率，誤差輸出
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界面
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RS-485（MODBUS協議，RTU模式）
可以連接32個單元（位址為1到32）
通訊速度：9600、19200、38400、57600bps
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外殼材質
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ABS
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使用環境溫度
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0∼50℃(非冷凝)
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130ｇ
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230g
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安裝方法
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DIN導軌
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面板
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探測器
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型式
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HLFS01-04
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HLFS01-06
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測量對象
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超純水 / 純水 / 藥液
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測量流量範圍
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0∼2L/min
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0∼20L/min
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連接管尺寸
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1/4"
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3/8"
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精度
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計測流量
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0∼小於800mL/min
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800∼2000mL/min
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0∼小於2000mL/min
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2000∼6000L/min
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流量精度
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±8mL/min
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±1% R.D.
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±20mL/min
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±1% R.D.
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耐圧力
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0.5MPa (0∼90℃) / 0.2MPa (90∼200℃)
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流体温度
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標準
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0∼90℃
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高温
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0∼180℃
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0∼200℃
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使用周囲温度
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0∼80℃
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接液部材質
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NEW PFA
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質量
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90g
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110g
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固有損失係数
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3.7863
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0.0937
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型式
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HLFS01-08
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HLFS01-12
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測定対象
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超純水 / 純水 / 薬液
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測定流量範囲
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0∼20L/min
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0∼50L/min
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接続ХшみйДユИ
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1/2"
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3/4"
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精度
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計測流量
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0∼4.3L/min未満
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4.3∼20L/min
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0∼11.8L/min未満
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11.8∼50L/min
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流量精度
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±43mL/min
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±1% R.D.
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±118mL/min
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±1% R.D.
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耐圧力
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0.5MPa (0∼90℃) / 0.2MPa (90∼200℃)
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流体温度
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標準
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0∼90℃
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高温
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0∼200℃
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使用周囲温度
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0∼80℃
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接液部材質
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NEW PFA
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質量
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130g
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160g
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固有損失係数
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0.1146
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0.0138
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型式
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HLFS01-16
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測定対象
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超純水 / 純水 / 薬液
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測定流量範囲
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0∼80L/min
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接続ХшみйДユИ
|
1"
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精度
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計測流量
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0∼20L/min未満
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20∼80L/min
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流量精度
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±200mL/min
|
±1% R.D.
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耐圧力
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0.5MPa (0∼60℃) / 0.2MPa (60∼200℃)
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流体温度
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標準
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-
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高温
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0∼200℃
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使用周囲温度
|
0∼80℃
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接液部材質
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NEW PFA
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質量
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212g
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固有損失係数
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0.0033
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各検出器ソ固有損失係数A（20℃ソ純水）
⊿P＝AQ2 ⊿P：圧力損失[KPa] A：固有損失係数 Q:流量[L/min]
変換器-検出器接続ンみйю
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型式
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HLFS01ンみйю 5m
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HLFS01ンみйю 7m
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材質
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ETFE
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長イ
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5m
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7m
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質量
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150g
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210g
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