圓形基板最大支援φ100mm，方形基板最大支援□70mm
特點
用途
半導體、太陽能電池、移動設備、光學鏡片、眼鏡鏡片、奈米技術/生物技術、住房設備、尖端醫療相關產品、液晶等顯示器、塗層和薄膜的實驗、研究和生產。
主要目的地
小型實驗室到大公司/大學、政府機關
優點
ACT-220AⅡ
Active® 熱門的型號<台式旋轉塗佈機 ACT-220AII> 是我們標準旋轉塗佈機中最小的旋轉塗佈機。 重量約為 18 公斤，即使是女性也可以隨身攜帶，因此可以在任何地方使用。
它的另一個特點是可以透過 10 個步驟和 100 個模式的程序以低廉的價格輕鬆設置所需的條件。
使用聯鎖感應器，除非檢測到基板上的真空吸附壓力，否則它不會旋轉，即使在旋轉過程中，如果安全蓋打開，它也會自動停止旋轉，考慮到安全性。
操作面板簡單易用。 您可以在交貨後立即使用它。 還包括一個易於理解的手冊。
如果您要旋轉塗佈的基材為 φ100mm 或方形 70mm 或更小，建議使用此類型。
規格
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基板尺寸
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Φ5 至 Φ100mm (Max. Φ4 inch, □70mm) 基板相容
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工作（基板）重量
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200g以下
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杯子內徑
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Φ220mm
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外形尺寸
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W250×D330×H關門272（開門500）mm
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電源
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1Φ100V-10A（交流伺服馬達200W）50/60Hz
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旋轉控制速度/旋轉精度
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0∼7000rpm/±1rpm以下（荷重下）
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基材吸附壓力
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-70 至 -80kPa
真空泵排量：12L/min以上
（設備側外徑Φ6管一鍵連接）
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程序步驟/
模式的數量
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10 步驟/100 種模式（程序記憶功能標準）
可改成20步驟/50模式（訂貨時請註明）
可改成50步驟/20模式（訂貨時請註明）
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顯示螢幕
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液晶顯示器（顯示20個字元，4行）
編程號碼、轉速、時間、吸附壓力顯示
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控制方式
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微電腦控制（用數字鍵盤輸入輕鬆編程）
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主機外罩/杯子材料
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SUS304電鍍拋光（特氟龍塗層可選）
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安全措施
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帶聯鎖感應器的安全蓋（旋轉過程中打開蓋自動停止旋轉）
具有基板吸附壓力聯鎖功能（不吸附時不旋轉）
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重量
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約18公斤
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選配
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樣品台（卡盤）
材料/耐化學性數據
（交貨日期 / 約 20 天）
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根據電路板尺寸，會後製造
材料選擇：POM、PCTFE、PTFE、PEEK、鋁
*鋁材可選擇特氟龍塗層
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真空泵浦
（用於底物吸附）
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· 小隔膜式乾式真空泵12S連接口改裝
· 排氣速度（L/min）：12/14（50/60Hz）
· 透明聚氨酯制真空管Φ6×3m
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安全罩電磁鎖
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安全蓋被鎖定，從編程開始進行到結束都無法打開。
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杯子
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接液部件上的杯和內杯 Teflon 塗層
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